Sabe-se que a deposição por camadas atômicas (ALD) de óxidos metálicos, em especial da alumina (Al2O3), quando operada em modo térmico (150ºC), tem uso frequente da água deionizada como precursor oxidante do precursor metálico, i.e. o trimetilalumínio (TMA). No entanto, a taxa de crescimento por ciclo (GPC) do filme de Al2O3 para TMA + H2O […]
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Rodrigo Sávio
Plasmas oferecem um potencial único para o desenvolvimento de tecnologias inovadoras. Plasmas são indispensáveis na produção de dispositivos microeletrônicos: nenhum computador moderno existiria sem plasma. Outros exemplos são iluminação com eficiência energética, tratamento de resíduos tóxicos, revestimentos de proteção, funcionalização de polímeros, esterilização biológica e muitos outros. Recentemente, a tecnologia de processamento de plasma de […]
Vasco Guerra
A palestra que o Prof. PhD. Vasco Guerra irá realizar no EFITA 2021 tem o seguinte título e resumo: Reciclar o dióxido de carbono por plasmas O rápido crescimento do consumo de combustíveis fósseis, com o aumento das emissões de gases de efeito de estufa como o dióxido de carbono, provocou já um enorme impacto […]
Marisa Roberto
O aumento da contínua industrialização ao redor do planeta, juntamente com um forte aumento da população tem levado a um aumento no consumo mundial de energia. Um dos grandes desafios no fornecimento desta demanda crescente é encontrar novos recursos energéticos seguros, sustentáveis, econômicos e compatíveis com a preservação do meio ambiente. Atualmente, os recursos energéticos […]
Gilberto Petraconi
Em um contexto geral, o desenvolvimento tecnológico envolvendo plasmas tem fundamental importância nas indústrias eletrônica, aeroespacial, metalúrgica, biomédica, saneamento básico e de tratamento de resíduos e detritos. Nesta palestra, serão apresentadas aplicações tecnológicas de física de plasmas térmicos desenvolvidas no Laboratório de Plasmas e Processos (LPP) do ITA, com foco em processos de materiais aplicados a […]
Diagnóstico de plasmas tecnológicos por sonda eletrostática
Os plasmas tecnológicos oferecem um potencial único para o desenvolvimento de tecnologias inovadoras. Os plasmas são indispensáveis na produção de dispositivos microeletrônicos: nenhum computador moderno existiria sem o uso da tecnologia de plasmas. Outros exemplos são tratamento de resíduos tóxicos, revestimentos protetores, funcionalização de polímeros, esterilização biológica e muitos outros. O desempenho de qualquer aplicação […]